|
|||||
|
|
| 影响集成电路管芯成品率的诸工艺因素(二) | |
| 作者姓名： | 李思渊 何山虎 赵全喜 赵丕鑫 |
| 作者单位： | 四四三○厂，兰州大学 |
| 摘 要： | 上文中我们就对集成电路管芯成品率影响较大的光刻质量,版面设计等六个工艺因素进行了分析。现在我们再从工艺程序等四个方面对管芯成品率的影响作一讨论。 一、工艺程序的设置对成品率的重要影响 使用怎样的工艺程序(包括规范和条件)来完成电路管芯的制作,对成品率的影响是巨大的。例如,对于TTL电路,我们可以对比下边四种程序的安排,就可看出问题的 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |