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宽带隙薄膜材料核化与生长机制及其性质的研究
摘    要:宽带隙金刚石膜及立方氮化硼薄膜由于其优异的物理性质和低成本,在机械、电子、光学及军事工业等部门有广阔的应用前景。

关 键 词:宽带隙薄膜材料  金刚石膜  立方氮化硼薄膜  核化  生长机制  物理性质
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