| 精密离心机主轴回转误差测量仿真技术研究 |
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| 引用本文： | 张荣,牛宝良,凌明祥,王珏,周继昆.精密离心机主轴回转误差测量仿真技术研究[J].计算机测量与控制,2016,24(6):72-76. |
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| 作者姓名： | 张荣 牛宝良 凌明祥 王珏 周继昆 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院 总体工程研究所,四川 绵阳 621900,中国工程物理研究院 总体工程研究所,四川 绵阳 621900,中国工程物理研究院 总体工程研究所,四川 绵阳 621900,中国工程物理研究院 总体工程研究所,四川 绵阳 621900,中国工程物理研究院 总体工程研究所,四川 绵阳 621900 |
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| 基金项目： | 国家重大科学仪器专项(2011YQ130047)。 |
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| 摘 要： | 精密离心机主轴回转误差直接影响精密离心机动态半径的测量、离心加速度输出精度以及精密离心机主轴运行安全性,必须精确测量主轴回转误差参数；介绍一种应用3个电容测微仪测试并分离主轴回转误差与圆度误差的方法,利用MATLAB对三只电容测微仪安装角度误差、主轴全周采样点数、测试系统本底噪声对主轴回转误差测试结果影响进行仿真分析,得出采样点数N、测微仪安装角度误差δα、δβ以及测试系统本底噪声对回转误差分离的影响,基于仿真结果确定了10-6量级精密离心机主轴回转误差测量的几个工程参数。该方法已应用于某高精度精密离心机主轴回转误差精密测试中,实测表明,转速在300 rpm内精密离心机纯回转误差测量结果为0.25 μm,满足10-6量级高精度精密离心机的研制指标需求。
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| 关 键 词： | 精密离心机 回转误差 圆度误差 三点法 电容测微仪 |
| 收稿时间： | 2016/1/5 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2016/1/29 0:00:00 |
Research on Spindle Rotary Error Test Simulation Technique of Precision Centrifuge |
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