| 热阴极与冷阴极电离规稳定性的比较研究 |
| |
| 引用本文： | 李得天.热阴极与冷阴极电离规稳定性的比较研究[J].真空与低温,2002,8(4):201-210. |
| |
| 作者姓名： | 李得天 |
| |
| 作者单位： | 兰州物理研究所,甘肃,兰州,730000 |
| |
| 摘 要： | 电离规作为参考标准或副标准时,稳定性尤为重要。通常在校准服务中,只有热阴极电离规用作参考标准或副标准,不采用冷阴极电离规的传统原因是冷阴极电离规的非连续性、低压力下放电延迟效应以及它的不稳定性等。尽管现代反磁控型冷阴极电离规被认为解决了这些问题,但没有足够的数据来证明这些特性。作者介绍了对3个热阴极电离规和2个反磁控型冷阴极电离规的校准结果,校准采用的是高真空基础标准,校准范围为10-7～10-3Pa,校准气体包括N2、Ar、He和H2。在1×10-4Pa恒定压力下连续72h观测中,热阴极电离规在N2、Ar和He中的稳定性优于反磁控规,但在H2中所有规的稳定性相似。在6个月的重复校准中,所有规在N2、Ar和He中的长期稳定性相似,但在H2中反磁控规的长期稳定性优于热阴极电离规。对于不同的气体,反磁控规的非连续性出现在不同的压力点,反磁控规的非连续性使校准工作变得更为复杂。
|
| 关 键 词： | 热阴极电离规 冷阴极电离规 校准 |
| 文章编号： | 1006-7086(2002)04-0201-10 |
| 修稿时间： | 2002年7月12日 |
COMPARISON OF THE STABILITY OF HOT AND COLD CATHODE IONIZATION GAUGES |
| |
| LI De\|tian.COMPARISON OF THE STABILITY OF HOT AND COLD CATHODE IONIZATION GAUGES[J].Vacuum and Cryogenics,2002,8(4):201-210. |
| |
| Authors: | LI De\|tian |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | hot cathode ionization gauge cold cathode ionization gauge calibration |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
