摘 要: | 利用MEMS加工技术设计并制作了微型气相色谱柱。针对被分离恶臭物质的特性,选取CB-40(40%苯基+60%二甲基聚硅氧烷)固定相对色谱柱进行涂覆,制作了毛细管式微型色谱柱,并作为第一维分离柱;选用与Silica Bond Plot相同的固定相作为填充物固定相,制作了微型填充式色谱柱,作为第二维分离柱。选取典型的硫化氢、甲硫醇、二硫化碳、甲硫醚、苯、甲苯、乙苯、对二甲苯、苯乙烯等8种恶臭物质进行分离检测。设计了一整套的进样采集模块与控制加热模块,并选用自制的管式富集器与灵敏度高、体积小的光离子化检测器,大大提高了检测精度。苯的检测限可以达到0.174μg/m L,硫化氢的检测限可以到达0.133μg/m L。
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