| 具有双应变梁的硅微机械倾角传感器结构设计 |
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| 引用本文： | 孔德义,张涛,梅涛,倪林,孙斐,陶永春. 具有双应变梁的硅微机械倾角传感器结构设计[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 302-304 |
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| 作者姓名： | 孔德义 张涛 梅涛 倪林 孙斐 陶永春 |
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| 作者单位： | 中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室,安徽,合肥,230031 |
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| 基金项目： | 安徽省自然科学基金资助课题(00043510) |
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| 摘 要： | 提出了一种能抗侧向耦合干扰的微机械硅倾角传感器的敏感结构设计，它由两个不同大小的质量块和连接它们的两个相互平行的硅应变梁组成。文中通过推导给出了硅应变梁上所受的应变与倾角及位置的解析关系，并计算了在两个不同质量块作用下硅梁上的应力分布，最后提出了制作该结构的工艺设计。
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| 关 键 词： | 双应变梁 硅微机械 倾角传感器 结构设计 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0302-03 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
Design of a micromechanical inclinometer with two strained silicon beams |
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