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| 基于电铸技术制造精密金属微器件 | |
| 引用本文： | 张冰冰,余斌,郝光亮.基于电铸技术制造精密金属微器件[J].机械管理开发,2013(2):61+64. |
| 作者姓名： | 张冰冰 余斌 郝光亮 |
| 作者单位： | 西安重装蒲白煤矿机械有限公司;平煤股份六矿北山工区;海克斯康测量技术有限公司 |
| 摘 要： | 鉴于电铸技术在实现精密金属微结构/器件方面所展现出的独特优越性,依托其为主要工艺手段,以制造微十字和微圆柱两种不同尺度的精细金属微器件为目标,开展试验研究,并借助扫描电镜对所得微器件的形貌质量进行评价。结果表明:基于电铸技术能制造出良好形貌且具备较高廓形精度的金属微器件。 |
| 关 键 词： | 金属微器件 电铸 工艺流程 质量评价 |
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