原子层沉积制备二氧化钛薄膜及其光催化性能

采用原子层沉积方法在K9玻璃上制备出TiO_2薄膜,利用XRD、SEM、AFM、分光光度计和紫外-可见光谱仪表征了不同沉积温度下薄膜的物相结构、光学性能和光催化性能。结果表明:25和120℃下制备的TiO_2薄膜为无定形态结构,210和300℃下可获得锐钛矿结构;随着沉积温度的升高,薄膜的晶粒尺寸变大,表面粗糙度增加,透射率降低,光催化性能增强;300℃下制备的TiO_2薄膜(2mm×2mm)经24h的紫外-可见光照射,对甲基橙溶液的降解率可达98.97%,通过平铺方式增加样品的表面积可显著提高对甲基橙溶液的降解率。