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| 原子层沉积制备二氧化钛薄膜及其光催化性能 | |
| 作者姓名： | 侯静 杨培志 郑勤红 李赛 杨德威 |
| 摘 要： | 采用原子层沉积方法在K9玻璃上制备出TiO2薄膜,利用XRD、SEM、AFM、分光光度计和紫外-可见光谱仪表征了不同沉积温度下薄膜的物相结构、光学性能和光催化性能.结果 表明:25和120℃下制备的TiO2薄膜为无定形态结构,210和300℃下可获得锐钛矿结构;随着沉积温度的升高,薄膜的晶粒尺寸变大,表面粗糙度增加,透... |
| 关 键 词： | 原子层沉积 二氧化钛 薄膜 光催化 |
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