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用相机测量金刚石膜透光性的研究
引用本文:罗廷礼.用相机测量金刚石膜透光性的研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2014(5).
作者姓名:罗廷礼
作者单位:河北省激光研究所,石家庄,050081
基金项目:国家863计划715-02(Z)-A,河北省科委重点项目,河北省自然科学基金(597389)资助项目。
摘    要:为了方便测量、记录和交流金刚石膜的透光性,对用相机测定金刚石膜透光性的技术问题进行了研究。其原理是由相机的感光度、光圈、快门速度先得到一张级差为20%的25级金刚石膜透光性的速查表。测量中,得知膜的快门速度后查表,即可知膜的透光性级数和透光率。该法表征金刚石膜透光性的方式,可适用于多散点单参数膜25级平面坐标图示法和单散点多参数膜相关信息元素的多项式法。该方法快速方便、简单可靠,无需大型设备,保证了金刚石膜的完整性,觧决了整片金刚石膜透光性的测量、表征和分级的问题。

关 键 词:化学气相沉积  金刚石膜  透光率  测量和分级

Measurement of the light transmittance of diamond films with a camera
LUO Ting-l i.Measurement of the light transmittance of diamond films with a camera[J].Diamond & Abrasives Engineering,2014(5).
Authors:LUO Ting-l i
Abstract:
Keywords:chemical vapor deposition(CVD)  diamond film  transmissivity  measurement and grading
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