| 影响XeCl 准分子激 光器寿命的因素 |
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| 引用本文： | 邓光明,吴旭峰,凌一鸣. 影响XeCl 准分子激 光器寿命的因素[J]. 电子器件, 2003, 26(1): 75-79 |
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| 作者姓名： | 邓光明 吴旭峰 凌一鸣 |
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| 作者单位： | 东南大学电子工程系,南京,210096 |
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| 摘 要： | 准分子激光器的推广应用与其寿命的改善有着很密切的关系。现以XeCl准分子激光器为例讨论对了激光器寿命影响比较大的两大因素：高速放电开关和激光腔体。
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| 关 键 词： | 准分子激光器 寿命 气体污染 高速放电开关 |
| 文章编号： | 1005-9490(2003)01-0075-05 |
| 修稿时间： | 2002-09-10 |
The Factors Affecting the Lifetime of XeCl Excimer Laser |
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| DENG Guangming,?? ?? WU Xuf,eng ?? ?? LIN Yiming. The Factors Affecting the Lifetime of XeCl Excimer Laser[J]. Journal of Electron Devices, 2003, 26(1): 75-79 |
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| Authors: | DENG Guangming ?? ?? WU Xuf eng ?? ?? LIN Yiming |
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| Affiliation: | Southeast University |
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| Abstract: | The improvement of lifetime plays important role in application and popularization of excimer lasers.Examplfying the discharge pumped XeCl excimer lasers, the laser charmber and the fast switch which have strong influence on excimer laser lifetime has been discussed. |
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| Keywords: | excimer laser lifetime gas condamination fast switch |
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