0.1μm粒子洁净技术研究

随着现代高科技的发展,对空气环境中悬浮微粒的控制,无论在粒子数量还是大小方面都提出了更高的要求。以电子工业中超大规模集成电路的发展为例,微粒的控制粒径已由0.5μm提高到0.1μm,在洁净空间的级别方面也相应提出10级以至1级的要求。因此,对于最小控制粒径为0.1μm的洁净技术研究也就提到了日程。这意味着不仅要开发研制具有超高性能的空气过滤装置,同时要构造出满足一定微粒控制要求的洁净空间。解决上述任务,既涉及到理论上的分析预测,也涉及到实际的测量验证.从总体而言,后者更为重要。