离子镀TiN膜和TiC膜在模具中的应用 |
| |
引用本文: | 陈勇.离子镀TiN膜和TiC膜在模具中的应用[J].机械制造,1996,34(1):27-27. |
| |
作者姓名: | 陈勇 |
| |
作者单位: | 广西机电职工大学 530007 |
| |
摘 要: | TiN膜层和TiC膜层具有高的硬度、低的摩擦系数和良好的化学稳定性。应用离子镀方法在工模具表面沉积一薄层超硬TiN膜层或TiC膜层,可显著提高工模具的使用寿命,因此,离子镀层在工模具上的应用将越来越广。 1.离子镀工艺过程 离子镀是真空蒸镀与气体放电相结合的一种沉积技术。离子镀的方法有Mattocks法、RF法、ARE法和HCD法,在工模具制造中广泛应用的是HCD法,即空心阴极放电法,先用真空泵抽真空,并向真空室通入反应气体,使真空度保持在10~(-3)~10~(-2)Pa范围内,利用低压大电流的HCD电子枪使蒸发的金属或化合物离子化,并在工件表面堆积成一层保护膜。为提高效率,在工件上加以负电压。
|
关 键 词: | 离子镀 氮化钛 碳化钛 模具 |
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录! |
|