| 高可靠性声体波微波延迟线研究 |
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| 引用本文： | 马晋毅,江洪敏,汤劲松,赵雪梅,杨靖.高可靠性声体波微波延迟线研究[J].压电与声光,2008,30(4). |
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| 作者姓名： | 马晋毅 江洪敏 汤劲松 赵雪梅 杨靖 |
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| 作者单位： | 四川压电与声光技术研究所,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 通过优化换能器设计和采用双面光刻、超声键合和密封封装等技术,研制出中心频率f0=4 300 MHz,-3 dB带宽Δf-3 dB≥200 MHz,延迟时间Δt=0.358μs的声体微波延迟线。通过试验验证,该产品具有高可靠性和良好的环境适应性,取得了满意的实用效果。
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| 关 键 词： | 声体波 延迟线 可靠性 |
Study on Bulk Acoustic Wave Microwave Delay Line with High Reliability |
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| MA Jin-yi,JIANG Hong-min,TANG Jin-song,ZHAO Xue-mei,YANG Jing.Study on Bulk Acoustic Wave Microwave Delay Line with High Reliability[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2008,30(4). |
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| Authors: | MA Jin-yi JIANG Hong-min TANG Jin-song ZHAO Xue-mei YANG Jing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | bulk acoustic wave delay line reliability |
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