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一等大量块(125~1000 mm)检定装置
引用本文:邵宏伟,刘香斌,王雁,党爱华,吴月艳.一等大量块(125~1000 mm)检定装置[J].计量学报,2004,25(3):198-202.
作者姓名:邵宏伟  刘香斌  王雁  党爱华  吴月艳
作者单位:中国计量科学研究院,北京,100013
摘    要:量块的测量是长度计量的重要基础.文中的装置采用了高精度的633 nm碘稳频氦氖激光器和543 nm热稳频氦氖激光器各一台,分别将不同波长的激光光束入射到典型的迈克尔逊干涉仪中,使放置在测量光路中的量块与平晶研合在一起的组合体和参考镜进行干涉,利用CCD摄像机获取干涉图像,同时测量量块温度及空气折射率(或环境参数),一同输入计算机中进行处理计算得到测量结果.对于125~1000 mm量块的测量难点是保证温度要稳定、均匀、偏离20 ℃的范围要小.为此,设计了可高精度控温的仪器箱,可调节温度到17~23 ℃,温度变化率小于0.01 ℃/h,从而实现量块线膨胀系数的测量.该装置的量块长度测量不确定度达到U99 =0.02 μm+0.2×10-6 L,量块线膨胀系数测量的不确定度可达U99 =0.2×10-6 ℃-1.

关 键 词:计量学  大量块  双波长迈克尔逊干涉仪  小数重合法
文章编号:1000-1158(2004)03-0198-05
修稿时间:2003年1月21日

The Calibration Interferometer for the First Grade Long Gauge Blocks (125~1000 mm)
SHAO Hong-wei,LIU Xiang-bin,WANG Yan,DANG Ai-hua,WU Yue-yan.The Calibration Interferometer for the First Grade Long Gauge Blocks (125~1000 mm)[J].Acta Metrologica Sinica,2004,25(3):198-202.
Authors:SHAO Hong-wei  LIU Xiang-bin  WANG Yan  DANG Ai-hua  WU Yue-yan
Abstract:
Keywords:Metrology  Long gauge block  Two-wavelength Michelson interferometer  Exact fraction method
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