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| 环境湿度对非晶铟镓锌氧薄膜晶体管负偏压光照稳定性的影响 | |
| 作者姓名： | 冯国锋 章雯 董承远 |
| 摘 要： | 为了探究环境湿度对非晶铟镓锌氧薄膜晶体管(a-IGZO TFT)的负偏压光照(NBIS)稳定性的影响,本文使用非密闭腔室进行不同波长光照射下以及不同相对湿度下的TFT负偏压测试.介绍了a-IGZO TFT的基本结构以及实验所用I-V测试系统.测试了不同波长光照条件下a-IGZO TFT的转移特性曲线以及相同波长光照射下... |
| 关 键 词： | 非晶铟镓锌 薄膜晶体管 负偏压光照稳定性 湿度 氧空位 |
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