相位型空间光调制器的自参考标定方法

相位型空间光调制器(SLM)是一种对光的相位信息进行定量调控的器件。由于制造和使用过程中的一些不确定因素,需要标定SLM的相位调制,即输入灰度和输出相位的响应(LUT)。本文介绍了基于自参考光路的SLM相位调制标定方法。通过在SLM上产生光栅相位,光栅的衍射级次作为参考光,与标定区域的光干涉、形成干涉图。利用傅立叶频谱分析技术和数字全息技术分析干涉图,可分别对SLM的全局LUT和局部LUT进行测量标定。自参考标定方法仅需一个分束器和CMOS即可标定SLM,同时可实现原位标定,是一种简便高效的标定方法。