| 正交图形簇畸变的校正研究及计算机仿真处理 |
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| 引用本文： | 姚作宾,胡咏梅,肖义青.正交图形簇畸变的校正研究及计算机仿真处理[J].微细加工技术,2001(2):31-34. |
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| 作者姓名： | 姚作宾 胡咏梅 肖义青 |
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| 作者单位： | 山东大学南校区控制科学与工程学院, |
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| 摘 要： | 论述了电子束扫描正交图形簇产生畸变的非线性校正过程，通过几种典型的图形分析研究，推导出有关的校正函数，并运用计算机进行了该畸变图形的仿真处理及验证。
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| 关 键 词： | 正交图形簇 畸变 非线性校正 计算机仿真 电子束曝光机 |
| 文章编号： | 1003-8213(2001)02-0031-04 |
| 修稿时间： | 2000年2月14日 |
Research and Computer Simulation for Distortion Correction of Orthogonal Pattern Group |
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| Yao Zuobin,Hu Yongmei,Xiao Yiqing.Research and Computer Simulation for Distortion Correction of Orthogonal Pattern Group[J].Microfabrication Technology,2001(2):31-34. |
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| Authors: | Yao Zuobin Hu Yongmei Xiao Yiqing |
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| Abstract: | The process of nonlinear distortion correction of orthogonal pattern group in E-beam scanning is introduced.The related correction functions are derived throngh the analysis of several typical pattlerns.The distortion patterns are simulated and verified by computer. |
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| Keywords: | scanning field orthogonal pattern group distortion nonlinear correction computer simulation |
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