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中高压阳极铝箔直流脉冲电蚀工艺及机理研究
引用本文:邹腾,肖仁贵,刘丹露,王建中. 中高压阳极铝箔直流脉冲电蚀工艺及机理研究[J]. 电子元件与材料, 2013, 32(9)
作者姓名:邹腾  肖仁贵  刘丹露  王建中
作者单位:1. 贵州大学化学与化工学院,贵州贵阳,550025
2. 贵州大学化学与化工学院,贵州贵阳550025;江苏中联科技集团,江苏南通226361
3. 江苏中联科技集团,江苏南通,226361
基金项目:江苏省科技支撑计划(工业)资助项目
摘    要:用直流脉冲电源对高纯铝箔进行电化学侵蚀,研究了影响腐蚀箔性能的工艺参数条件,探索了隧道孔生长机理.结果表明:在硫酸和盐酸电解质体系中,影响腐蚀箔性能的工艺参数有直流脉冲电流密度、脉冲频率、占空比以及脉冲时间等;控制直流脉冲的电流密度峰值在0.8 A/cm2以上、脉冲电流单次通电延续时间在0.53 ms左右,能使铝箔产生纵横交错的隧道孔.

关 键 词:电解电容器  铝箔  脉冲电流  电化学腐蚀  隧道孔  比容

Study on technology and mechanism of DC impulse current etching of aluminum foil for middle and high voltage electrolytic capacitor
Abstract:
Keywords:electrolytic capacitor  aluminum foil  impulse current  electrochemical etching  tunnel  specific capacitance
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