| 底座激振下微型叠层芯片共振频率检测 |
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| 引用本文： | 韩雷,严国政.底座激振下微型叠层芯片共振频率检测[J].振动与冲击,2012,31(7). |
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| 作者姓名： | 韩雷 严国政 |
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| 作者单位： | 中南大学机电工程学院,长沙,410083 |
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| 基金项目： | 国家重大基础研究发展计划项目，国家高技术研究发展计划 |
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| 摘 要： | 为测试微悬臂芯片的动态特性,建立以压电陶瓷为激振底座的测试系统.采用白噪声、稳态正弦和快速正弦(啁啾信号)扫频方式激励微叠层悬臂芯片,由多普勒测振仪测试芯片动态响应.通过分析压电陶瓷阻抗变化与芯片动态响应,获得的频率对应于压电陶瓷激振器所激励叠层芯片的一阶共振频率,可作为微结构和器件动态分析的测试方案.
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| 关 键 词： | 压电陶瓷激振器 底座激振 多普勒测振仪 阻抗分析 叠层芯片 共振频率 |
Resonant frequency measurement for a micro stacked chip with base excitation |
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| HAN Lei
,
YAN Guo-zheng.Resonant frequency measurement for a micro stacked chip with base excitation[J].Journal of Vibration and Shock,2012,31(7). |
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| Authors: | HAN Lei YAN Guo-zheng |
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