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| 零温度系数的AlN/Al_2O_3声表面波延迟线 | |
| 作者姓名： | 中钵宪贤 郑友德 |
| 作者单位： | 东北大学电子通讯研究室 日 |
| 摘 要： | 研究了SAW延时与AlN膜(用有机金属化学蒸发沉淀法在Al_2O_3基片上生长的)的温度关系.当SAW沿着[1100]Al_2O_3方向传播时,AlN/Al_2O_3的延时温度系数随KH增加而降低,其中K是波数,H是AlN膜的厚度.我们在一定的KH值下成功地获得了零温度系数的声表面波延迟线. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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