| 多晶硅铸锭炉双区加热系统的数值计算 |
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| 引用本文： | 韩栋梁,庞江瑞,黄家海,权龙.多晶硅铸锭炉双区加热系统的数值计算[J].铸造技术,2014(12):3027-3029. |
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| 作者姓名： | 韩栋梁 庞江瑞 黄家海 权龙 |
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| 作者单位： | 太原理工大学新型传感器与智能控制教育部与山西省重点实验室; |
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| 基金项目： | 山西省科技攻关项目(20130313003-2) |
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| 摘 要： | 对450型多晶硅型铸锭炉加热系统进行优化,提出了双区加热系统的理论,即对顶部加热器和侧面加热器加热功率分别控制;同时对侧面加热器结构进行优化。利用有限元软件ANSYS对加热系统优化后铸锭生长过程进行数值计算,对优化后硅料熔化过程、硅液内部温度分布、硅锭退火过程及硅锭纵向温度分布进行分析,计算结果显示,优化后硅液等温线较平坦、硅锭退火后温度梯度减小,熔化和退火阶段时间明显缩短,可以降低铸锭生产能耗,提高生产效率。
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| 关 键 词： | 铸锭炉 双区加热 加热器 数值分析 |
Numerical Simulation of the Two-zone Heating System in the Polycryscalline Ingot Furnace |
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