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| LaAlO_3基体上CaBaCo_2O_(5+δ)多晶薄膜的微观结构以及生长方式 | |
| 作者姓名： | 李骏驰 陈江华 丁莹 马春蕊 陈充林 方靖岳 张学骜 |
| 作者单位： | 湖南大学材料科学与工程学院;德克萨斯大学物理系;国防科学技术大学理学院; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51301064,51371081) |
| 摘 要： | 采用脉冲激光沉积方法,在(001)LaAlO3上沉积CaBaCo2O5+δ多晶薄膜,用X射线衍射(XRD)和透射电子显微镜(TEM)对基体和薄膜的微观结构进行观察,并探讨了薄膜的生长机制以及改善薄膜质量的可能工艺。结果表明,(1)LaAlO3基体中存在位错、孪晶等缺陷,且孪晶类型以(100)楔形孪晶为主;(2)CaBaCo2O5+δ薄膜为多晶薄膜,薄膜底部保留了薄膜生长过程中的初始晶粒结构,晶粒大小约5~8 nm,厚度约为5~7 nm。薄膜顶层的晶粒较大,约为11~16 nm。 |
| 关 键 词： | 多晶薄膜 微观结构 薄膜生长方式 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |