| 纳米材料及器件的测量需求 2002年6月5～6日在英国特丁顿英国国立物理研究所进行的 VAMAS-CENSTAR研讨会综述 |
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| 引用本文： | 王忠祥.纳米材料及器件的测量需求 2002年6月5～6日在英国特丁顿英国国立物理研究所进行的 VAMAS-CENSTAR研讨会综述[J].现代科学仪器,2004(2):70-73. |
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| 作者姓名： | 王忠祥 |
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| 作者单位： | 北京市理化分析测试中心,北京,100089 |
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| 摘 要： | 随着器件尺寸不断小型化及器件特征不断复杂化，对器件的尺寸、特征、几何学和性质的测量就成了主要的技术难题。由于不能可靠地进行上述物理量测量，则严重影响了这些器件的商业化。由英国国立物理研究所和美国国家标准技术研究院基于此共同以VAMAS和CENSTAR的名义于2002年6月5～6日成功地举办了一次有业界知名专家参加的高水平的国际研讨会(研讨会的报告及建议最近才公布于众)。这次研讨会的目的是在纳米科技领域确立一些对测量需求的主题，这其中测量和标准的进展将是新器件和部件商业化的关键所在。研讨会着重强调的主题是：*纳米尺度可视化；*纳米力学性能；*纳米尺度的磨擦。
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| 关 键 词： | 纳米测量 纳米器件 纳米磨擦学 会议 |
| 修稿时间： | 2003年8月19日 |
Need of Measurement of Nano-scale Materials and Devices Summary on the VAMAS -CENSTAR Workshop in the National Physical Laboratory,Teddungton,UK June 5～6,2002 |
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