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| ZnO压电薄膜SAW机电耦合系数的测量 | |
| 作者姓名： | 肖声质 |
| 作者单位： | 四川压电与声光技术研究所 |
| 摘 要： | 根据叉指换能器等效电路模型,通过实验证明了阻抗法是测量ZnO薄膜SAW机电耦合系数的简单而可靠方法.同时还对光照、相对湿度、温度以及测量静电容时频率的选择等对测量的影响进行了实验分析. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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