| 波前编码中立方相位板的装配及加工误差对成像性能的影响 |
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| 引用本文： | 张效栋,张林,刘现磊,姜丽丽.波前编码中立方相位板的装配及加工误差对成像性能的影响[J].纳米技术与精密工程,2015(2). |
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| 作者姓名： | 张效栋 张林 刘现磊 姜丽丽 |
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| 作者单位： | 精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津大学,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(863计划)资助项目(2011CB706706)；国家自然科学基金资助项目(51175377)． |
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| 摘 要： | 在波前编码技术中,通过立方相位板的光学调制和后续图像处理,扩展了系统景深.其中系统的光学调制过程,可以用广义光瞳函数描述.系统的广义光瞳函数描述了光通过立方相位板后相位的变化过程.立方相位板是波前编码技术的关键器件,装配及加工误差直接影响系统的成像性能.本文通过推导不同误差情况下的广义光曈函数,得到了立方相位板装配及加工误差对点扩散函数(PSF)和调制传递函数(MTF)的变化规律.评估这些规律,得到了装配和加工误差对系统成像性能的变化规律,为装配和加工过程提供了基本的指导.文中分析了不同装配误差和加工误差对于系统性能的影响,其中围绕Z轴的装配误差和加工中振动引起的正弦形状误差对于MTF的影响最大.因此,在装配和加工中应尽量避免围绕Z轴的装配误差和正弦形状误差,正弦形状误差的PV值应保持在0.5μm之内.
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| 关 键 词： | 波前编码 装配偏转 加工误差 面型形状误差 |
Effect of Assembling and Machining Errors on Wavefront Coding Imaging Performance of Cubic Phase Mask |
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| Zhang Xiaodong,Zhang Lin,Liu Xianlei,Jiang Lili.Effect of Assembling and Machining Errors on Wavefront Coding Imaging Performance of Cubic Phase Mask[J].Nanotechnology and Precision Engineering,2015(2). |
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| Authors: | Zhang Xiaodong Zhang Lin Liu Xianlei Jiang Lili |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | wavefront coding assembling deflection machining error surface shape error |
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