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| 洁净室设计和运行的节能 | |
| 引用本文： | 张利群.洁净室设计和运行的节能[J].洁净与空调技术,1994(4). |
| 作者姓名： | 张利群 |
| 摘 要： | 洁净室技术是近半个世纪发展起来的一门新兴的综合技术、随着经济的发展它已成为电子、宇航、精密机械、化工、制药、医疗、食品等各个部门及高科技产业发展不可缺少的条件之一。特别是电子工业,近十年来,先进国家电子工业发展非常快,每三年集成电路的集成度就要翻两番。自1978年256K超大规模集成电路问世以来到现在1M、4M、16M甚至64M的随机存储器相继出现,这样的发展速度对洁净技术发展提出了更高更精的要求,不仅控制粒径从0.5μm缩小到0.3μm, |
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