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用于多点高速测量的新型位置传感器
作者姓名:Baba.  M 吴鲲
摘    要:用于多点高速测量的新型位置传感器MitsuruBaba等1.引言在加工部件的自动检测及遥控观测等众多工业应用领域中,多点测量系统的作用日渐突出。由于这些应用中的测量时间通常很短,而且准确度要求也很高,因而急需开发一种高速位置传感器。采用CCD(电荷耦...

关 键 词:多点高速测量 位置传感器 位置测量法
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