|
|||||
|
|
| 采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器 | |
| 引用本文： | Marco,S 吴鲲.采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器[J].现代计量测试,1997,5(1):53-57,22. |
| 作者姓名： | Marco S 吴鲲 |
| 摘 要： | 采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器Ｓ．Ｍａｒｃｏ，等１．引言高性能的硅压阻式压力传感器已广泛应用于工业环境中，然而在生物医学方面，若利用硅压阻式压力传感器进行介入性测量以直接监视被测物，则将在大小尺寸、准确度和灵敏度方面受到严格... |
| 关 键 词： | 薄结构膜片 生物医学 压力传感器 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |