| Ansys在PZT压电薄膜微传感器压电分析中的应用 |
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| 引用本文： | 娄利飞,杨银堂,张军琴,李跃进.Ansys在PZT压电薄膜微传感器压电分析中的应用[J].机械科学与技术(西安),2005,24(7):875-878. |
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| 作者姓名： | 娄利飞 杨银堂 张军琴 李跃进 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学,微电子研究所,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安,710071;西安电子科技大学,微电子研究所,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安,710071;西安电子科技大学,微电子研究所,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安,710071;西安电子科技大学,微电子研究所,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安,710071 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(90207022)资助 |
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| 摘 要： | 研究的PZT压电薄膜微传感器采用的弹性敏感元件为微悬臂梁结构,在压电原理和材料力学理论的基础上,采用简化的等效微器件结构建立了数学分析模型,将有限元方法发展应用于压电材料的结构分析中,并运用有限元软件Ansys7.0对PZT压电薄膜微悬臂梁结构的传感性能和线性度进行了模拟,同时分析了微悬臂梁结构的几何参数对输出电压的影响,这些分析结果和解析预测是一致的。
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| 关 键 词： | 微传感器 有限元法 压电分析 |
| 文章编号： | 1003-8728(2005)07-0875-04 |
Application of Ansys to the Piezoelectric Analysis of PZT Piezoelectric Thin Film Microsensor |
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| LOU Li-fei,YANG Yin-tang,ZHANG Jun-qin,LI Yue-jin.Application of Ansys to the Piezoelectric Analysis of PZT Piezoelectric Thin Film Microsensor[J].Mechanical Science and Technology,2005,24(7):875-878. |
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| Authors: | LOU Li-fei YANG Yin-tang ZHANG Jun-qin LI Yue-jin |
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| Abstract: | In this paper a micro-cantilever-beam structure is adopted as elastic sense organ of PZT piezoelectric thin film microsensors. Based on theory of piezoelectricity and mechanics of materials, we form a mathematic analysis model using equivalent micro-machine structure, and develop the finite element method to a structure analysis of piezoelectric materials. By using the finite element software of Ansys7.0, the analyses on induction and linearity capability of PZT piezoelectric micro-cantilever-beam structure are carried out, and the influence curves of structural dimension of micro-cantilever on output voltage are analyzed. All these results obtained from FEA are in very good agreement with those by means of parsing forecast. |
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| Keywords: | Microsensor FEA Piezoelectric analysis |
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