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| 类金刚石碳膜的组成和结构 | |
| 作者姓名： | 周坤遴 曹伟民 周瑞花 张吉人 |
| 作者单位： | 中国科学院成都有机化学研究所 610015(周坤遴，曹伟民，周瑞花)，中国科学院成都有机化学研究所 610015(张吉人) |
| 基金项目： | 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室资助课题 |
| 摘 要： | 用射频辉光放电离解烃制备了类金刚石碳膜。由IR、XPS、AES、Raman、SEM、TEM、TED和元素分析等手段,分析表征了膜的组成、碳原子化学键态和晶形结构。表明膜是sp~3C-C和C-H键为主体的非晶态,在非晶碳基质中存在一定的微晶石墨和金刚石成分。 |
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