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MPCVD实验条件对碳氮纳米管薄膜场发射性能的影响
引用本文:鲁占灵,赵瑞霞,姚宁,杨仕娥,张兵临. MPCVD实验条件对碳氮纳米管薄膜场发射性能的影响[J]. 郑州大学学报(工学版), 2005, 26(3): 61-64
作者姓名:鲁占灵  赵瑞霞  姚宁  杨仕娥  张兵临
作者单位:1. 郑州大学材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052;郑州大学材料工程学院,河南,郑州,450052
2. 河南建筑职工大学,河南,郑州,450052
3. 郑州大学材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052
基金项目:重庆市应用基础研究基金
摘    要:通过正交设计试验法研究了微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)实验条件对碳氮纳米管薄某》⑸湫阅艿挠跋?结果表明,当微波功率为1 500W、反应气压为8.5kPa、甲烷、氮气和氢气的流量比为8:20:80时,制备的碳氮纳米管薄膜场发射特性最好,其开启电场强度为3.2 V/μm,电场强度为8.0V/μm时的电流密度为3.5 mA/cm2.

关 键 词:正交设计  碳氮纳米管  场发射
文章编号:1671-6833(2005)03-0061-04
修稿时间:2005-03-29

The Effect of Experimental Conditions of MPCVD on the Field Emission Properties of Carbon Nitride Nanotube Films
LU Zhan-ling,ZHAO Rui-xia,YAO Ning,YANG Shi-e,ZHANG Bing-lin. The Effect of Experimental Conditions of MPCVD on the Field Emission Properties of Carbon Nitride Nanotube Films[J]. Journal of Zhengzhou University: Eng Sci, 2005, 26(3): 61-64
Authors:LU Zhan-ling  ZHAO Rui-xia  YAO Ning  YANG Shi-e  ZHANG Bing-lin
Abstract:
Keywords:cross design  carbon nitride nanotube  field emission
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