| 多层式金刚石膜上沉积ZnO薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 赵平,夏义本,王林军,刘健敏,苏青峰,阮建峰,史伟民.多层式金刚石膜上沉积ZnO薄膜的研究[J].压电与声光,2007,29(3):335-337. |
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| 作者姓名： | 赵平 夏义本 王林军 刘健敏 苏青峰 阮建峰 史伟民 |
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| 作者单位： | 上海大学,材料科学与工程学院,上海,200072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;上海市纳米科技专项基金;上海市应用材料研究与发展项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种制作ZnO/金刚石/硅结构声表面波器件的新工艺。利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,在硅基片上沉积了晶粒尺寸逐层减小的、光滑的多层式金刚石薄膜,表面粗糙度低于20 nm,厚度大于35μm。在金刚石膜上制作了线宽为8μm的IDT电极。尝试利用射频(RF)磁控溅射法在制备的多层式金刚石膜上生长ZnO薄膜,X-射线衍射(XRD)结果表明,当衬底温度(Th)为250℃、气压(P)为0.4 Pa时,在多层式金刚石薄膜衬底上可沉积高度c轴取向的ZnO薄膜,电阻率接近106Ω.cm,满足制作声表面波器件对衬底材料的要求。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 金刚石膜 c轴取向 射频磁控溅射 |
| 文章编号： | 1004-2474（2007）03-0335-03 |
| 修稿时间： | 2006-03-21 |
Research of ZnO Films Deposited on Multi-layer Diamond Substrates |
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| ZHAO Ping,XIA Yi-ben,WANG Lin-jun,LIU Jian-min,SU Qing-feng,RUAN Jian-feng,SHI Wei-min.Research of ZnO Films Deposited on Multi-layer Diamond Substrates[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2007,29(3):335-337. |
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| Authors: | ZHAO Ping XIA Yi-ben WANG Lin-jun LIU Jian-min SU Qing-feng RUAN Jian-feng SHI Wei-min |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO thin film diamond film c-axis orientation RF magnetron sputtering |
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