O_2流量对ZnO形貌和发光性质的影响

采用热蒸发Zn粉的化学气相沉积方法研究了氧气(O_2)流量对产物形貌和光致发光性质的影响,并采用计算流体动力学软件FLUENT模拟了O_2和锌蒸汽的浓度分布。扫描电镜照片和模拟结果显示:在O_2流量从0.06sccm到2sccm变化过程中,纳米ZnO结构从一维针状和棒状结构向三维花状结构转变。较小的O/Zn比有利于形成一维产物,较大的O/Zn比有利于生成三维产物。X射线衍射谱图说明,在合适的O_2流量下,更多的晶粒沿着c轴择优生长。光致发光谱图和模拟结果说明:随着O_2流量的增加,产物绿光发射峰强度相对减弱,紫外发射峰相对强度增加,绿光发射峰是由O空位引起的。