液相电化学沉积法制备类金刚石薄膜的研究进展

阐述液相电化学沉积法制备类金刚石碳(DLC)薄膜的原理,介绍液相制备法的优势,从电解液、电压、掺杂元素以及反应机理4个方面介绍电化学法制备类金刚石薄膜的研究进展。总结DLC薄膜的性能以及在不同领域的应用,并对液相电沉积DLC薄膜的发展前景进行了展望。