| 基于神经网络的AZO薄膜制备工艺参数的正交优化设计 |
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| 引用本文： | 范丽琴.基于神经网络的AZO薄膜制备工艺参数的正交优化设计[J].化工新型材料,2019,47(7):130-134. |
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| 作者姓名： | 范丽琴 |
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| 作者单位： | 厦门工学院,厦门,361021 |
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| 基金项目： | 福建省中青年教师教育科研项目 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射法制备AZO薄膜,研究和讨论了溅射功率、溅射时间和溅射气压3个工艺参数对AZO薄膜光学和电学性能的影响。采用正交优化设计,对3个工艺参数进行优化,测量了透射率和电阻率,以此作为薄膜光电性能的评价指标,通过极差值分析确定了制备薄膜的最佳工艺参数。影响薄膜透射率的最主要因素为溅射气压;影响电阻率的最主要因素为溅射时间。获得制备高透射率低电阻率的AZO薄膜的最佳工艺组合方案为溅射功率为400W、溅射时间为1000s、溅射气压为1.0Pa。将反馈型(BP)神经网络应用于磁控溅射AZO薄膜光学性能(可见光区的平均透射率)和电学性能(电阻率)的研究。输入样品数据对神经网络进行训练,建立AZO薄膜光电性能随溅射参数变化的预测模型。
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| 关 键 词： | 正交设计 掺铝氧化锌 光电学性质 BP神经网络 |
Orthogonal optimization design of process parameter for AZO thin film preparation based on neural network |
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| Fan Liqin.Orthogonal optimization design of process parameter for AZO thin film preparation based on neural network[J].New Chemical Materials,2019,47(7):130-134. |
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| Authors: | Fan Liqin |
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| Affiliation: | (School of Xiamen Institute of Technology,Xiamen 361021) |
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| Abstract: | Fan Liqin(School of Xiamen Institute of Technology,Xiamen 361021) |
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| Keywords: | orthogonal design aluminum-doped zinc oxide film photoelectric property BP neural network |
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