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太阳能级多晶硅生产工艺研究现状
引用本文:杨伟强.太阳能级多晶硅生产工艺研究现状[J].中国氯碱,2023(2):31-36.
作者姓名:杨伟强
作者单位:新疆协鑫新能源材料科技有限公司
摘    要:介绍了改良西门子工艺、强化FBR联合碳化物工艺、混合工艺、新硅烷工艺和卤化硅的热分解或歧化工艺,并分析了每种工艺的流程及特点。

关 键 词:太阳能级多晶硅  化学方法  生产工艺
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