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| 采用温度测量的方法对直拉法熔体流动的研究 | |
| 作者姓名： | 王健伟 万群 |
| 作者单位： | 北京有色金属研究总院 100088(王健伟，万群)，北京有色金属研究总院 100088(秦福) |
| 摘 要： | 本文通过温度测量实验,对直拉法硅熔体流动状态及强度进行了研究。证明熔体的温度梯度及热对流强度随熔体深度的减小而减小,并讨论了熔体对流对硅单晶中氧含量的影响。 |
| 关 键 词： | 单晶硅 直拉法 温度测量 熔体流动 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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