MEMS中的微组装技术 |
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引用本文: | 孙红光,夏善红,张建刚.MEMS中的微组装技术[J].新技术新工艺,2005(1):24-27. |
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作者姓名: | 孙红光 夏善红 张建刚 |
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作者单位: | 中国科学院电子学研究所,100080 |
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基金项目: | 国家自然科学基金项目(90207006) |
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摘 要: | 随着微机电系统(MEMS)的迅速发展,对微组装技术的需求日益迫切。介绍了微器件组装技术的研究和发展概况,包括顺行和并行微组装技术,并对各种微组装技术进行了比较。对未来微组装技术的发展和应用前景进行了讨论。
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关 键 词: | 组装技术 微机电系统(MEMS) 微器件 并行 需求 迅速发展 发展概况 未来 |
Micro-assembly Technologies for MEMS |
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