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| 我国一台大型空间环模设备获得超高真空 | |
| 引用本文： | 黄本诚,成致祥,张恩光,罗舜生,韩肇本.我国一台大型空间环模设备获得超高真空[J].真空科学与技术学报,1983(1). |
| 作者姓名： | 黄本诚 成致祥 张恩光 罗舜生 韩肇本 |
| 作者单位： | 北京工程环境试验站，北京工程环境试验站，北京工程环境试验站，北京工程环境试验站，北京工程环境试验站 |
| 摘 要： | 我国目前一台大型空间环境模拟设备,直径7米,高12米,容积400米~3。本文简介了超高真空系统的设计和调试情况,容器极限真空度为3.8×10~(-3)托。一、抽气系统的设计通常,大型空间环模室真空获得系统的设计可采用三种方案:早期(六十年代),采用大量的油扩散泵机组,尽量布满容器周围,如美国斯托克公司所研制的一台直径10米的环模室,用17台5万升/秒抽速的油扩散泵机组,容器极限真空为10~(-6)托。我们将此称为第一代抽气系统。第二代真空获得系统,是采用油扩散泵与20K深冷泵的组合抽气系统。由于引进有巨大抽速的深冷泵,抽气时间缩短,处理气体能力增大,极限真空达到10~(-8)托至10~(-9) |
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