用于光栅拼接的微位移驱动器的精度分析

为了满足大尺寸衍射光栅拼接调整架精密调整的需求,设计了一种机械式微位移驱动器,它能够实现十几mm的大行程和纳米量级的定位精度。根据驱动器各零部件的性能参数和技术指标,分析计算了影响驱动器运动分辨率的因素及其大小。通过对机构爬行现象的分析,近似计算出由于导轨间动静摩擦系数不同导致的爬行量的大小。实验测试结果显示,驱动器的运动分辨率可达到10nm,运动过程中具有很好的重复性,而且驱动器可以长时间保持很好的稳定性。该研究结论对后期光栅调整架的设计具有很大的参考价值。