| 电容式微加工超声传感器结构参数对性能的影响分析 |
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| 引用本文： | 张慧,宋光德,官志坚,靳世久.电容式微加工超声传感器结构参数对性能的影响分析[J].传感技术学报,2008,21(6):951-953. |
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| 作者姓名： | 张慧 宋光德 官志坚 靳世久 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 摘 要： | 介绍了电容式微加工超声传感器(cMUT)的工作原理,通过理论计算和有限元仿真分析,讨论了cMUT中薄膜厚度、薄膜半径、薄膜残余应力和空腔厚度的变化对传感器的塌陷电压和谐振频率的影响,为传感器的设计和制作提供了依据.
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| 关 键 词： | 电容式微加工超声传感器(cMUT) 塌陷电压 谐振频率 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)06-0951-03 |
| 修稿时间： | 2008年1月9日 |
Influences of the structural parameters on the performance of capacitive micromachined ultrasonic transducer |
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| ZHANG Hui,SONG Guang-de,GUAN Zhi-jian,Jin Shi-jiu.Influences of the structural parameters on the performance of capacitive micromachined ultrasonic transducer[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(6):951-953. |
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| Authors: | ZHANG Hui SONG Guang-de GUAN Zhi-jian Jin Shi-jiu |
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| Affiliation: | State key laboratory of precision measuring technology and instruments,
Tianjin University,Tianjin 300072, Chin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT) collapse voltage resonance frequency |
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