激光扫描共聚焦显微镜在微小硬度压痕测量中的应用研究

尝试将激光扫描共聚焦显微镜应用于微小硬度压痕的测量中,不仅可以得到硬度压痕的三维形貌,而且利用共聚焦测量方法高分辨力的特点,解决了小于20μm的微小硬度压痕无法测量的难题。本文给出了测量微小硬度压痕的方法,并给出了具体步骤和实例;用所得到的压痕的三维形貌表征材料在压入过程中在压头周围所产生的堆积,可以扩展硬度测量的尺度,对于硬度测量的下一步发展具有积极的指导意义。