| 飞秒激光对P型碲镉汞打孔的形貌和PN结特性研究 |
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| 引用本文： | 周松敏,查访星,郭青天,殷菲,李茂森,马洪良,张波. 飞秒激光对P型碲镉汞打孔的形貌和PN结特性研究[J]. 红外与毫米波学报, 2010, 29(5): 337-341 |
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| 作者姓名： | 周松敏 查访星 郭青天 殷菲 李茂森 马洪良 张波 |
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| 作者单位： | 1. 上海大学,理学院物理系,上海,200444
2. 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083 |
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| 基金项目： | 上海市重点学科建设无线电物理专项基金 |
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| 摘 要： | 激光束诱导电流(LBIC)检测实验表明,飞秒激光刻蚀P型碲镉汞形成的孔洞结构具有PN结特性.实验研究了激光刻蚀功率、激光聚焦透镜数值孔径等参数对刻蚀孔形貌的影响,发现在较低的激光功率范围内,孔径与激光功率基本呈线性关系.刻蚀孔反型层的厚度也与激光功率基本呈线性关系,但不同激光功率刻蚀所形成孔结构的LBIC信号强度的改变不大.另外,还研究了刻蚀激光在材料中聚焦深度对刻蚀孔LBIC信号的影响,发现该因素的影响并不明显.
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| 关 键 词： | 碲镉汞；PN结；激光束诱导电流；飞秒激光打孔 |
| 收稿时间： | 2009-12-28 |
| 修稿时间： | 2009-12-28 |
THE MORPHOLOGY OF MICRO HOLE PN JUNCTION IN P-TYPE HgCdTe FORMED BY FEMTOSECOND LASER DRILLING |
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| ZHOU Song-Min,ZHA Fang-Xing,GUO Qing-Tian,YIN Fei,LI Mao-Sen,MA Hong-Liang and ZHANG Bo. THE MORPHOLOGY OF MICRO HOLE PN JUNCTION IN P-TYPE HgCdTe FORMED BY FEMTOSECOND LASER DRILLING[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2010, 29(5): 337-341 |
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| Authors: | ZHOU Song-Min ZHA Fang-Xing GUO Qing-Tian YIN Fei LI Mao-Sen MA Hong-Liang ZHANG Bo |
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| Affiliation: | Department of Physics, Shanghai University |
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