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| 绝缘衬底上硅膜的激光侧向外延 | |
| 作者姓名： | 林惠旺 钱佩信 马腾阁 李志坚 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所(林惠旺，钱佩信，马腾阁)，清华大学微电子学研究所(李志坚) |
| 摘 要： | 对具有侧向籽晶的绝缘衬底上的多晶硅薄膜的连续氩离子激光再结晶进行了研究.实验结果显示出明显的籽晶外延效果,外延的最大晶粒已达 50μm× 40μm,晶向与籽晶一致,均为<100>.无侧向籽晶的多晶硅膜激光再结晶后晶粒也能长大,但是晶粒的晶向是随机的. |
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