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| 沉积压力对金刚石涂层组织结构及铣削性能的影响 | |
| 作者单位： | ;1.厦门金鹭特种合金有限公司 |
| 摘 要： | 研究不同沉积压力对化学气相沉积CVD金刚石涂层的组织结构及切削性能的影响。采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,在不同的沉积压力下于WC-Co基硬质合金基体表面制备金刚石涂层。通过X射线衍射分析(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析涂层的微观组织结构,利用拉曼光谱(Raman Spectroscopy)分析金刚石涂层的成膜质量。研究结果表明,在金刚石涂层沉积压力为5～15mbar时,提高涂层沉积压力可以有效提高金刚石涂层表面晶粒尺寸、金刚石峰强度比及纯度,同时提高涂层〈111〉晶面取向择优。在铣削3D玻璃石墨模具时,沉积压力为15mbar时,制备的金刚石涂层刀具切削性能最优。 |
| 关 键 词： | 金刚石涂层 沉积压力 组织结构 3D玻璃石墨模具 铣削性能 刀具 |
Effect of Deposition Pressure on Microstructure and Milling Performance of Diamond Coating |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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