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半导体材料的霍耳测量
引用本文:罗江财. 半导体材料的霍耳测量[J]. 半导体光电, 1994, 15(4): 381-384
作者姓名:罗江财
作者单位:重庆光电技术研究所
摘    要:利用霍耳效应研究半导体材料的电阻率,载流子浓度和迁移率是霍耳测量的主要技术之一。文章简单介绍了HL5500霍耳测量系统;列举了用该霍耳系统测量的各种半导体材料,特别是高阻和高迁移率材料的结果,并讨论了有关的干扰问题。

关 键 词:霍耳测量 半导体材料 电阻率 载流子浓度 迁移率

Hall Measurement of Semiconductor Materials
Luo Jiangcai. Hall Measurement of Semiconductor Materials[J]. Semiconductor Optoelectronics, 1994, 15(4): 381-384
Authors:Luo Jiangcai
Affiliation:Chongqing Optoelectronics Research Institute. Yongchuan 632163
Abstract:Using the Hall effect for determine resistivity, carrier concentration and moboility of semiconductor materials is one of the major techniques of Hall measurement. In this paper. HL5500 Hall Measurement system is introduced briefly. The results measured by the Hall system are enumerated on varieties of semiconductor materials,especially the materials with high resistivity and high mobility. The problem of interference is discussed.
Keywords:Hall Measurement   Semiconductor Materials   Resistivity   Carrier Concentration   Mobility  
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