| 用于MEMS仿生矢量水听器流激噪声抑制的“三明治”式封装结构设计与性能测试(英文) |
| |
| 作者姓名： | 张斌珍 郝一龙 张国军 刘林仙 王盼盼 杨士莪 张文栋 |
| |
| 作者单位： | [1]北京大学微米／纳米加工技术国家级重点实验室,北京100871 [2]北京大学微电子研究所,北京100871 [3]西北工业大学航海学院,西安710032 [4]中北大学电子测试技术国防科技重点实验室,太原030051 |
| |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划（863计划）资助项目（2011AA040404）;国家杰出青年基金资助项目（51205374）. |
| |
| 摘 要： | MEMS仿生矢量水听器具有体积小、成本低、安装方便、有矢量性等优点,将MEMS仿生矢量水听器应用于水下环境必须解决透声、绝缘、流激噪声抑制等问题.为此,在前期单层聚氨酯封装结构的基础上,提出聚氨酯-水-聚氨酯"三明治"式封装结构,外层聚氨酯直径36 mm,内层聚氨酯直径32 mm.完成了"三明治"式封装结构设计计算与试制测试;并通过典型使用环境实验验证该封装结构的流激噪声抑制能力.实验结果表明在20~1 000 Hz内该封装结构在几乎不损失灵敏度和矢量性的前提下,比前期的封装结构在抑制流激噪声能力方面提高20 dB以上.
|
| 关 键 词： | MEMS 矢量水听器 流激噪声 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
|
