| 微机械硅桥的热激励挠曲及谐振频率变化的理论分析 |
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| 引用本文： | 刘月明 刘君华 张少君. 微机械硅桥的热激励挠曲及谐振频率变化的理论分析[J]. 传感技术学报, 2000, 13(3): 163-167 |
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| 作者姓名： | 刘月明 刘君华 张少君 |
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| 作者单位： | 1. 西安交通大学西安710049
2. 西安理工大学西安710048 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;69776037; |
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| 摘 要： | 本文分析了镀膜双层微机械硅桥的热激励挠曲及谐振频率变化，建立了相应的数学模型，并对热挠曲灵敏度进行了优化设计。同时在充分考虑金属镀膜影响的情况下，给出了谐振频率变化的计算模型，该模型通过和测试数据的对比，验证了其正确性。
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| 关 键 词： | 热激励 热挠曲 谐振频率 微机械硅桥 传感器 |
| 修稿时间： | 1999-12-29 |
Theoretical Analysis of the Deflection andResonant Frequency of Micromachinced Silicon Bridge Excited Thermally |
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| Liu Yueming Liu Junhua Zhang Shaojun . Theoretical Analysis of the Deflection andResonant Frequency of Micromachinced Silicon Bridge Excited Thermally[J]. Journal of Transduction Technology, 2000, 13(3): 163-167 |
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| Authors: | Liu Yueming Liu Junhua Zhang Shaojun |
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| Abstract: | This paper have analysed the deflection and resonant frequency of the micromachaned silicon bridge with coating under thermal excitation. With the theoritical model induced, the optimization is done to the deflection and the model of the resonant frequency is verified by the experimental results in which the coating is considered. |
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| Keywords: | silicon bridge thermal excitation thermal deflection resonant frequency |
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