气体微流量标准装置的测控系统

气体微流量标准装置的测控系统在计算机控制下，采用电容薄膜规、光栅尺、铂电阻温度计等高精度传感器测出了变容室内气体的压力、体积变化县、温度等参量；并以计算机为控制器，利用比例积分微分算法，在流量测量的动态过程中将变客室内气体的压力被动控制在±0.01％之内；工作软件实现了对气体激流量标准装置的计算机自动化控制和管理。