α-Ti晶粒尺寸的EBSD技术测定方法及分析

用EBSD技术中的自动晶粒尺寸计算方法测定了六方结构α-Ti的晶粒尺寸。结果表明,对EBSD技术获取的数据,用面积法测量时能准确测出晶粒的平均尺寸。但EBSD方法测量晶粒尺寸时会受到标定率及误标的明显影响。影响最大的是伪对称性,即当因大量误标造成小晶粒出现时,平均晶粒尺寸明显降低。通过调整测试参数和后续处理可以去除该影响。比较不同级别降噪后的数据可知,标定率越高,降噪前后结果越接近;标定率越低,降噪前后差别越大。